一种保持碳化硅单晶生长温度的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及碳化硅单晶生长技术领域,公开了一种保持碳化硅单晶生长温度的方法,包括:对碳化硅单晶生长设备进行建模得到设备模型并对加热实验进行模拟,得到对应每次模拟过程中所述设备模型的碳化硅晶体表面的温度值,计算相邻实验温度值的温度差ΔT;通过碳化硅单晶生长设备进行实际单晶生长,以相应的固定加热功率加热相同所述预定时长直至坩埚盖顶部温度为T1‑ΔT×(i‑1),式中,i=1、2…,从而保持对应的碳化硅晶体表面的温度一致。本发明通过数值模拟计算,通过碳化硅晶体表面温度的变化去校正被测量的坩埚盖表面的温度。从而保证每次实验碳化硅晶体生长的温度一致,从而保证每次生长出来的碳化硅晶体的品质一致。
基本信息
专利标题 :
一种保持碳化硅单晶生长温度的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318542A
申请号 :
CN202210245207.X
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-03-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
韩学峰皮孝东杨德仁王亚哲徐所成
申请人 :
浙江大学杭州国际科创中心
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区市心北路99号5楼
代理机构 :
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
姚宇吉
优先权 :
CN202210245207.X
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/36
申请日 : 20220314
申请日 : 20220314
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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