半导体智能仓储存取晶圆片的方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体智能仓储存取晶圆片的方法,包括存储单元,用于存储晶圆片;进料单元,用于输送半导体晶圆盒;出料单元,用于输出晶圆盒;所述存储单元包括有移位机构和存储机构;所述移位机构用于抓取晶圆片移送至存储机构的存储空间内。该半导体晶圆智能仓储及使用方法,通过设置的三个立柱,将晶圆从三个立柱的开口位置放入立柱的卡槽位置进行批量存储,用户可以控制旋转模块对存储模块转动一定的角度,再从另一开口处对晶圆进行同步存储,从而可以有效的节约空间,使得晶圆的存储量得以有效提高,晶圆片在存取过程中更加的方便。
基本信息
专利标题 :
半导体智能仓储存取晶圆片的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114524216A
申请号 :
CN202210292104.9
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-03-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
沙伟中
申请人 :
苏州艾斯达克智能科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室
代理机构 :
上海坤元知识产权代理有限公司
代理人 :
董强
优先权 :
CN202210292104.9
主分类号 :
B65G1/04
IPC分类号 :
B65G1/04 B65G1/02 B65G49/06 B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
B65G1/02
贮存装置
B65G1/04
机械的
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 1/04
申请日 : 20220323
申请日 : 20220323
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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