基于PVT法生长碳化硅单晶的设备及方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种基于PVT法生长碳化硅单晶的设备及方法。设备包括生长腔体、坩埚、升降杆和用于承载原料的料仓,所述坩埚、升降杆和料仓均位于生长腔体内;所述料仓位于所述坩埚内,料仓包括多个相互独立的存料仓室;升降杆由坩埚底部向上穿过所述存料仓室的底部并延伸至存料仓室的顶部,通过上下升降所述升降杆,可将所述存料仓室的顶部密封或在存料仓室的密封顶部顶出气相原料通道。本发明可根据单晶不同生长阶段的需要,利用升降杆在不同的存料仓室顶部释放出气相原料通道,从而实现不同温区的原料逐步蒸发,确保整个单晶生长过程中,各组分浓度基本保持一致,有助于提高原料利用率和提高晶体生长质量。

基本信息
专利标题 :
基于PVT法生长碳化硅单晶的设备及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114525587A
申请号 :
CN202210424984.0
公开(公告)日 :
2022-05-24
申请日 :
2022-04-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马远薛卫明潘尧波
申请人 :
中电化合物半导体有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市杭州湾新区玉海东路68号15号、16号楼
代理机构 :
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 :
卢炳琼
优先权 :
CN202210424984.0
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B23/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-06-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/36
申请日 : 20220422
2022-05-24 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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