半导体器件及其制造方法
被视为撤回的申请
摘要

在ROM(只读存储器)中采用了MIS型多栅结构的晶体管,方法是在各栅中配置了阈值电压控制区和利用各栅的阈值电压差。在阈值电压控制区中,其中一个栅结构具有这样获得的多栅结构:采用第一栅结构部分作为掩模刻蚀衬底的半导体,以便在刻蚀过的表面形成规定的杂质扩散层,同时在该杂质扩散层上形成第二栅结构部分,所述第一和第二栅结构部分可采用自行配合的方法形成,它们的就位很简单,因而可进一步缩小各部件的体积,可构成适宜更高集成度的结构。

基本信息
专利标题 :
半导体器件及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN87106738A
申请号 :
CN87106738
公开(公告)日 :
1988-04-06
申请日 :
1987-09-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
大沼诚
申请人 :
松下电子工业株式会社
申请人地址 :
日本大阪府
代理机构 :
中国专利代理有限公司
代理人 :
肖掬昌
优先权 :
CN87106738
主分类号 :
H01L29/78
IPC分类号 :
H01L29/78  H01L21/18  H01L27/10  H01L21/72  G01C17/00  
法律状态
1990-06-20 :
被视为撤回的申请
1988-04-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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