集成式可编程晶体生长控制装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
本实用新型提供了一种集成式可编程晶体生长控制装置,包括温度传感器、微处理器、加热器、籽晶杆转动步进电机、晶体提拉步进电机和称重传感器;温度传感器通过其前置放大器、称重传感器通过称重传感器放大器分别与双路信号切换开关连接,双路信号切换开关、A/D转换器与微处理器互相连接;加热器至少分两路,每路都与微处理器连接,籽晶杆转动步进电机和晶体提拉步进电机通过各自驱动器与微处理器连接。本实用新型集温度控制、电机速度控制于一体,通过编程能够精确地控制温度升降速率、电机转向、转速及转动时间,并能够通过称量晶体重量确认晶体生长情况,可实时对晶体生长过程中的温度、速度和转向进行控制,保证了晶体生长质量。
基本信息
专利标题 :
集成式可编程晶体生长控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720027580.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-18
授权号 :
CN201083991Y
授权日 :
2008-07-09
发明人 :
张晓阳黄柏标秦晓燕段爱东
申请人 :
山东大学
申请人地址 :
250100山东省济南市历下区山大南路27号
代理机构 :
济南圣达专利商标事务所
代理人 :
王书刚
优先权 :
CN200720027580.9
主分类号 :
G05B19/04
IPC分类号 :
G05B19/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/04
除数字控制外的程序控制,即顺序控制器或逻辑控制器
法律状态
2009-12-02 :
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2007918
2008-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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