可纵向升降、水平旋转的晶圆吸附及卸落装置
避免重复授权放弃专利权
摘要
本实用新型涉及一种在晶圆测试时可以实现晶圆在纵向升降、并可在水平平面内转动的晶圆吸附及卸落装置,包括机架的纵向方向设置的管状内套顶端设置的晶圆吸盘装置,内套与升降装置与旋转装置相连,该晶圆吸盘装置包括在负压吸盘与隔热盘之间设置的加热器,在负压吸盘上表面设有若干负压气槽,在负压吸盘内设有与负压气槽连通的负压气孔,在负压吸盘上设有负压气管接头,所述的负压气管接头与负压气孔连通,在负压吸盘上设有贯穿负压吸盘、加热器与隔热盘的卸料孔,卸料孔内设有顶针以及顶针升降控制装置。本实用新型可以有效降低测试成本,缩短晶圆测试的时间,在测试时可实现纵向升降、水平旋转。
基本信息
专利标题 :
可纵向升降、水平旋转的晶圆吸附及卸落装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820035162.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-04-14
授权号 :
CN201196655Y
授权日 :
2009-02-18
发明人 :
董晓清孙盘泉戴京东陈仲宇
申请人 :
无锡市易控系统工程有限公司
申请人地址 :
214028江苏省无锡市新区科技创业园4区2楼200号
代理机构 :
无锡市大为专利商标事务所
代理人 :
曹祖良
优先权 :
CN200820035162.9
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2010-12-08 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101050185929
IPC(主分类) : G01R 1/04
专利号 : ZL2008200351629
申请日 : 20080414
授权公告日 : 20090218
放弃生效日 : 20080414
号牌文件序号 : 101050185929
IPC(主分类) : G01R 1/04
专利号 : ZL2008200351629
申请日 : 20080414
授权公告日 : 20090218
放弃生效日 : 20080414
2009-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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