布线电路基板及其制造方法
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摘要

本发明提供一种布线电路基板的制造方法,其是包括绝缘层和导体图案的布线电路基板的制造方法,具备:工序(1),设置具有斜面的绝缘层;工序(2),在至少绝缘层的表面设置金属薄膜;工序(3),在金属薄膜的表面设置光致抗蚀剂层;工序(4),将光掩模配置为将光致抗蚀剂层中的应设置导体图案的第1部分被遮光,隔着光掩模对光致抗蚀剂层进行曝光;工序(5),除去第1部分,使金属薄膜的与第1部分相对应的部分暴露;工序(6),在金属薄膜的从光致抗蚀剂层暴露出来的部分的表面设置导体图案,斜面具有能够使由金属薄膜反射的反射光到达第1部分的第2部分,在工序(4)中,将光掩模配置为将光致抗蚀剂层的与第2部分相对的部分遮光。

基本信息
专利标题 :
布线电路基板及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN107278018A
申请号 :
CN201710224810.9
公开(公告)日 :
2017-10-20
申请日 :
2017-04-07
授权号 :
CN107278018B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
杉本悠田边浩之藤村仁人
申请人 :
日东电工株式会社
申请人地址 :
日本大阪府
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN201710224810.9
主分类号 :
H05K1/02
IPC分类号 :
H05K1/02  H05K1/05  H05K3/10  
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法律状态
2022-05-03 :
授权
2019-04-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 1/02
申请日 : 20170407
2017-10-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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