一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置

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摘要

本实用新型涉及一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置，包括用于实现自动密封取片的控制台及SMIF传送盒，所述控制台置于电子束扫描仪中承载台的表面，所述SMIF传送盒设于所述控制台上；本实用新型结构简单，使用方便，成本低廉，本实用新型不需要外挂整套SMIF机构，仅仅利用电子束扫描测量仪原有的传送机构即可实现晶圆自动传送，其具有安装方便、体积小巧、故障率低的优点，本实用新型的适配性好，有效实现了12英寸晶圆的电子束扫描测量仪支持对8英寸晶圆的自动化参数测量。

基本信息

专利标题：

一种用于电子束扫描测量仪的晶圆传送密封保护装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920639455.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-06

授权号：

CN209591984U

授权日：

2019-11-05

发明人：

高健舒畅郭熙中

申请人：

无锡卓海科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市天山路6-2407

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

孙力坚

优先权：

CN201920639455.6

主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/66