本实用新型公开了一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与水洗箱的出口连接，碱洗进路与碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与水洗箱的进口连接，碱洗出路与碱洗箱的进口连接。该回收处理装置可以对外延生长设备用滤芯进行清洗和对滤芯上沉积的MO源进行回收处理，回收处理效率高，利于节能环保。