快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，其包括：主电浆反应腔体，其具有第一反应腔室，其顶部具有通孔部；以及置换件，密封结合于通孔部，又置换件为盖板或结合式电浆反应腔体，其具有第二反应腔室；当使用盖板为置换件，则以第一反应腔室进行电浆蚀刻反应；当使用合式电浆反应腔体为置换件，则以第一反应腔室及第二反应腔室共同进行电浆蚀刻反应。借由本实用新型的实施，可以对不同的制程，快速切换腔体，因此可以提升产线灵活度及有效降低成本。

基本信息

专利标题：

快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921669714.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-08

授权号：

CN210535633U

授权日：

2020-05-15

发明人：

林志隆蔡兆哲陈俊龙

申请人：

聚昌科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN201921669714.6

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67