一种半导体芯片加工用固定机构
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摘要

本实用新型涉及半导体芯片加工技术领域,公开了一种半导体芯片加工用固定机构,包括固定底板,固定底板上端两侧设有燕尾槽,燕尾槽内部通过梯形块安装活塞柱,活塞柱上端安装活塞板,活塞板外侧安装活塞筒,活塞筒上端安装U型架,U型架上端安装吸盘,吸盘与活塞板下端的活塞筒区域之间安装通气管,活塞板上端与活塞筒顶端内壁之间安装复位弹簧,U型架内侧分别安装有左旋螺杆和右旋螺杆,左旋螺杆和右旋螺杆之间安装螺纹筒,U型架外侧中部安装L型架。本实用新型,实现了对半导体芯片加工时的左右距离的夹紧调节,同时设置活塞筒与吸盘,既实现了对半导体芯片加工时的固定作用,同时也确保了加工完全后,半导体芯片的快速拿取。

基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片加工用固定机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921741337.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-17
授权号 :
CN210489592U
授权日 :
2020-05-08
发明人 :
陈建华薛敬伟王锡胜胡长文刘庆贵
申请人 :
滨海治润电子有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市滨海经济开发区工业园人民南路延伸段
代理机构 :
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 :
李德胜
优先权 :
CN201921741337.2
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687  H01L21/683  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-05-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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