一种半导体芯片加工用固定机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片加工用固定机构,包括底板、固定机构和限位装置;底板:所述底板为实心平板,且底板的上表面左右两侧分别固定安装有两条L型滑轨,两条滑轨的短臂相对应,两条滑轨分别与滑台的左右两侧面开槽滑动连接,且滑台的上表面中部设有开槽;固定机构:所述固定机构包含转轴、上盖、压板和弹簧,所述上盖为U形盖,且上盖的U形开槽向下,上盖的左侧壁下表面左侧通过转轴与滑台的上表面左侧转动连接,通过定位板将半导体芯片的四边位置固定,从而避免半导体芯片在加工时位置发生偏移,且固定机构能够加半导体芯片的侧边压紧,避免芯片在加工时被带起而造成芯片偏移。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片加工用固定机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921822397.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-28
授权号 :
CN210325748U
授权日 :
2020-04-14
发明人 :
程进徐海洋
申请人 :
苏州芯海半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市
代理机构 :
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘盼盼
优先权 :
CN201921822397.7
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2020-04-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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