半导体结构
授权
摘要

本实用新型涉及一种半导体结构,包括:介电层;导线层,位于介电层内;低介电常数材料层,位于介电层内或位于介电层的上表面,且至少位于相邻导线层之间。使得在半导体结构中同层相邻铜线之间的寄生电容减小,达到有效减小半导体结构中同层相邻铜线之间的寄生电容的效果,提升器件的可靠性和使用寿命。

基本信息
专利标题 :
半导体结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922376824.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211555871U
授权日 :
2020-09-22
发明人 :
李佳龙王蒙蒙
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
史治法
优先权 :
CN201922376824.X
主分类号 :
H01L23/535
IPC分类号 :
H01L23/535  H01L23/48  H01L21/768  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L23/00
半导体或其他固态器件的零部件
H01L23/52
用于在处于工作中的器件内部从一个组件向另一个组件通电的装置
H01L23/535
包括内部互连的,例如穿交结构
法律状态
2020-09-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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