波导参数的提取方法及系统、虚拟晶圆的建立方法及系统
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摘要
一种波导参数的提取方法及系统、虚拟晶圆的建立方法及系统，所述波导参数的提取方法包括：提供晶圆，所述晶圆上具有共振器，所述共振器包括：环形波导和环外波导，所述环外波导位于所述环形波导以外且所述环外波导的至少一部分与所述环形波导的至少一部分具有平行关系，所述共振器具有预设的参数矩阵；确定所述共振器的特征参数；根据所述参数矩阵和所述特征参数，计算所述共振器中波导的实际物理参数，所述波导包括所述环形波导和环外波导，所述实际物理参数包括环形波导和环外波导之间的间距。通过本发明的方案，可以准确确定制造完成后的器件中波导的物理参数。
基本信息
专利标题 ：
波导参数的提取方法及系统、虚拟晶圆的建立方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112255786A
申请号 ：
CN202011119401.0
公开（公告）日 ：
2021-01-22
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN112255786B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
于济瑶曹国威冯俊波
申请人 ：
联合微电子中心有限责任公司
申请人地址 ：
重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张振军
优先权 ：
CN202011119401.0
主分类号 ：
G02B27/00
IPC分类号 ：
G02B27/00 G01M11/02 G01R23/165 G06F17/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2021-02-09 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 27/00
申请日 : 20201019
申请日 : 20201019
2021-01-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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