一种晶圆的旋转升降传送机构
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种晶圆旋转升降传送机构。所述晶圆旋转升降传送机构包括固定机台、移动机台、升降机构和旋转机构，所述固定机台固定安装在制造设备上，所述移动机台在所述固定机台上可以上下滑动，所述升降机构和所述旋转机构均安装在所述移动机台上。本实用新型结构较为简单，易于维护，占用空间少，并且可以同时完成旋转和升降两个传送动作。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆的旋转升降传送机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020026974.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-07
授权号 ：
CN212161770U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
廖海涛孙文彬
申请人 ：
无锡市邑勉微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金辉
优先权 ：
CN202020026974.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-10-22 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/677
登记生效日 : 20211011
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
登记生效日 : 20211011
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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