一种法拉第屏蔽反应腔室
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及半导体制造领域,特别涉及一种法拉第屏蔽反应腔室。包括腔体顶盖、顶盖密封圈、石英管、电感支撑体、腔体密封圈、放电线圈、腔体密封盖、离子聚焦圈,还包括气体分散盘和线圈支架;电感支撑体套在石英管外,石英管上端通过顶盖密封圈与腔体顶盖密封固定连接,气体分散盘安装在腔体顶盖轴心下方,石英管下端通过腔体密封圈与腔体密封盖密封固定连接,离子聚焦圈安装在腔体密封盖下方,电感支撑体一周安装有线圈支架,线圈支架外缠绕有放电线圈。本实用新型提供的反应腔室,其可以避免反应腔体与外侧的放电线圈相接触造成短路,可以均匀快速地产生所需的等离子体,且结构简单。
基本信息
专利标题 :
一种法拉第屏蔽反应腔室
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020120986.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-19
授权号 :
CN211629038U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
廖海涛张飞
申请人 :
无锡市邑勉微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
代理机构 :
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
金辉
优先权 :
CN202020120986.7
主分类号 :
H01J37/32
IPC分类号 :
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-10-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01J 37/32
登记生效日 : 20210927
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
登记生效日 : 20210927
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 无锡市邑勉微电子有限公司
变更后权利人 : 无锡邑文电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
变更后权利人 : 214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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