一种晶圆分断的自动检测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆分断的自动检测装置，包括机架、摄像机和LED光源，机架设置在靠近晶圆分割机出料口的一侧，机架上设置有遮光摄影棚，遮光摄影棚内安装有摄像机，位于摄像机的摄像头正下方设置有置物托盘，机架位于置物托盘下方安装有LED光源；机架上还安装有报警装置和显示器，报警装置、显示器和摄像机均信号连接至机架内的主控模块，主控模块内设置有图像识别控制系统。本实用新型通过对设备报警检测和报警功能的增加，实现了分断异常的全面检出功能，避免了因极少量不良制品未经检测而流到后道工序的风险；解决了因未分断异常和碎片异常导致的低收率问题，避免了异常连续大批量发生的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆分断的自动检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020629860.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-23
授权号 ：
CN212410468U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
姜泽芳梅雪军
申请人 ：
海太半导体（无锡）有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN202020629860.2
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01C11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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