一种导轨组件及晶圆传送单元
授权
摘要
本申请公开了一种导轨组件及一种晶圆传送单元，所述导轨组件包括第一导轨、滑动设置在所述第一导轨上的第一滑块，还包括感应组件，所述感应组件包括至少一个检测装置，所述感应组件被配置为所述第一滑块滑动到所述第一导轨上的某些位置时可触发所述检测装置以确定所述第一滑块的当前位置；所述晶圆传送单元包括所述导轨组件，通过将需要传送的晶圆设置在所述第一导轨的一侧的特定位置，将所述感应组件配置为当手臂到达晶圆的位置时触发所述检测装置，使晶圆传送单元可以通过感应组件确定晶圆的位置，避免了因丝杆磨损或伺服电机异常导致的定位错误而引发的安全事故。
基本信息
专利标题 ：
一种导轨组件及晶圆传送单元
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021141178.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-18
授权号 ：
CN214358833U
授权日 ：
2021-10-08
发明人 ：
张冬欣张雷
申请人 ：
厦门通富微电子有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦10楼1001单元F0193
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭栋梁
优先权 ：
CN202021141178.5
主分类号 ：
B65G47/90
IPC分类号 ：
B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
法律状态
2021-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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