一种硅片清洗机用机械手，包括横杆、垂臂、第一支板、行程开关、约束板、信号杆、限位螺栓、第二支板、承托杆、托臂，横杆一端套接有两个垂臂，垂臂下端设有托臂，垂臂上端开设有孔，横杆穿过垂臂上的孔与垂臂相固定，两个垂臂之间设有第一支板和第二支板，第一支板上固定安装有行程开关，第一支板和第二支板上均安装有约束板，约束板上开有小孔，行程开关的底部连接有信号杆，信号杆依次穿过第一支板、第二支板及约束板上的小孔，其底端与承托杆垂直且固定连接，信号杆顶部安装有限位螺栓。本实用新型可以保证机械手执行取出操作时，相关设备必定是停机状态，避免了损坏的硅片落入硅片清洗机而造成更大的损失，大大提高了机械手的安全系数。