一种半导体芯片生产加工用固定装置

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摘要

本实用新型涉及半导体芯片制备设备技术领域，公开了一种半导体芯片生产加工用固定装置，包括撑台，所述撑台底部四个棱角处均固定设置有支杆，所述撑台上表面中部开设有凹槽，所述撑台左右两侧壁中部均开设有条形孔，所述条形孔内贯穿有螺纹柱，所述螺纹柱靠近撑台侧壁的两侧均通过螺纹旋接有螺帽，所述螺纹柱内端固定设置有载板，所述载板上表面中部固定设置有限位杆。本实用新型通过设置有条形孔和螺帽，可通过纵向滑移螺纹柱，用于调移限位杆的纵向位置，可通过转动螺纹柱的螺帽，并将同侧的两组螺帽夹持定位侧撑台的条形孔两侧，用于调移限位杆的横向位置，使限位杆具有可调节特性，适用于多种芯片的通口卡位，通用性强。

基本信息

专利标题：

一种半导体芯片生产加工用固定装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021632890.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-07

授权号：

CN213958936U

授权日：

2021-08-13

发明人：

刘建东

申请人：

昆山鹏亿自动化设备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市昆山市昆山开发区南浜路765号4号厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021632890.5

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687