一种晶圆片甩干机
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆片甩干机，其包括箱体，箱体的外顶面上固接有竖直布设的放置管，放置管内设置有贯穿箱体顶壁的转轴，转轴的下端转动连接在箱体的底壁上，转轴的上端设置有用于安装晶圆片的安装件，放置管的上端面铰接有用于盖设在放置管上端口的盖板，箱体的底壁上设置有驱使转轴转动的驱动组件。本申请具有的效果是在清理晶圆片上的水滴时，减少对晶圆片表面产生划痕情况。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片甩干机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021818376.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-26
授权号 ：
CN212542372U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
施挺挺
申请人 ：
无锡市立科汽车部件有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山区洛社镇镇北村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021818376.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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