一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器
授权
摘要
本实用新型提供一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器,包括设置在总熔体空间内的器壁,所述器壁所围成的空间形成晶体生长区,所述晶体生长区与所述总熔体空间同轴,所述器壁上加工有至少一个通孔,所述通孔用于所述总熔体空间内的熔体进入所述晶体生长区内,所述通孔位于所述晶体生长区内的熔体液面以下,所述通孔的横截面积0.1mm2≤S≤5024mm2。本实用新型通过在器壁上开设通孔实现了晶体生长区的分隔,得其外部未熔化的杂质点不能进入坩埚内,通孔实现了熔体的补充。通孔的尺寸实现更好的提高单晶体的生长良率。
基本信息
专利标题 :
一种用于连续单晶硅生长的带有孔的容器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022188827.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-29
授权号 :
CN212293837U
授权日 :
2021-01-05
发明人 :
黎志欣逯占文李军孔德东曹玉宝
申请人 :
连城凯克斯科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
代理机构 :
大连东方专利代理有限责任公司
代理人 :
李洪福
优先权 :
CN202022188827.3
主分类号 :
C30B15/10
IPC分类号 :
C30B15/10 C30B15/02 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/10
承载熔融液的坩埚或容器
法律状态
2021-01-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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