本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种沟槽型肖特基二极管器件，所述器件的有源区有多个原胞并联而成，在一个基本原胞中，包括处于正交排列的沟槽与p+层，即所述沟槽与所述p+层的方向是垂直的；在一个原胞中，沿着垂直于纸面的纵深方向依次为结构A和结构B，其中，所述结构A为纯沟槽肖特基二极管结构，所述结构B为pn二极管结构。对于n型导电器件，本实用新型器件原胞中通过相反类型的掺杂形成p+区与沟槽的正交形式的排列，实现对沟槽和肖特基接触的电场屏蔽，降低器件的反偏漏电流。同时通过沟槽内及台面上的不同势垒的肖特基接触，降低器件的开启电压和导通电阻。