一种大尺寸化合物半导体单晶制备方法
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摘要

一种大尺寸化合物半导体单晶制备方法,属于单晶制备领域,具体涉及晶体制备方法,特别涉及大尺寸尤其是超长长度化合物半导体单晶的制备方法,使用大尺寸单晶生长系统实现;大尺寸单晶生长系统包括晶体生长空间的控制装置和炉体内的原料注入装置。在原料合成和晶体生长过程中注入原料,并根据单晶的长度调节生长空间。由于存在多次缩颈处理,可以降低晶体本身的热应力,防止长得太长而断裂,同时大幅降低多次生长过程中缺陷的产生及原有缺陷的延伸;这种结构可以不受高压制备设备尺寸的限制。原料承载注入系统可以实现对承载注入系统的冷却,实现连续合成,或者间歇合成。

基本信息
专利标题 :
一种大尺寸化合物半导体单晶制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113249778A
申请号 :
CN202110376836.1
公开(公告)日 :
2021-08-13
申请日 :
2021-04-08
授权号 :
CN113249778B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
王书杰孙聂枫史艳磊邵会民徐森锋付莉杰王阳李晓岚欧欣宋瑞良刘惠生孙同年
申请人 :
中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人地址 :
河北省石家庄市新华区合作路113号
代理机构 :
石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
聂旭中
优先权 :
CN202110376836.1
主分类号 :
C30B15/02
IPC分类号 :
C30B15/02  C30B15/20  C30B15/10  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/02
向熔融液中添加结晶化材料或添加反应过程中就地生成结晶化材料之反应物的
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-08-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/02
申请日 : 20210408
2021-08-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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