一种快捷的晶片清洁工艺
实质审查的生效
摘要

本发明涉及晶片清洁设备技术领域,具体为一种快捷的晶片清洁工艺,包括工作箱,所述工作箱包括壳身以及壳盖,所述壳身顶端设置工作槽,所述壳盖底端与工作槽侧壁对应位置设置安装槽,所述安装槽侧壁设置限位装置,所述壳盖底端设置调节槽,所述调节槽内滑动设置调节块,所述调节槽槽底左右两侧分别设置螺纹杆,所述调节块顶端与螺纹杆对应位置设置螺纹孔,所述螺纹杆通过螺纹配合伸入螺纹孔内,所述壳盖顶端与螺纹杆对应位置设置调节电机,所述调节电机输出端与螺纹杆连接,通过搅拌杆以及搅拌电机的设置,便于带动清洗液流动,将脱离晶片表面的杂质带走,提升清洁效果。

基本信息
专利标题 :
一种快捷的晶片清洁工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114308863A
申请号 :
CN202111584638.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
钟兴进何淑英罗长诚
申请人 :
广州市鸿浩光电半导体有限公司
申请人地址 :
广东省广州市增城区新塘镇荔新十二路96号9幢103房
代理机构 :
厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邱冬新
优先权 :
CN202111584638.0
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10  B08B3/12  B08B13/00  F26B21/00  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/10
申请日 : 20211222
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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