本发明公开了一种电容传感器晶圆测量厚度标定算法，利用所测的一组样本数据，确定影响电容传感器测量的变量，设计理论模型，通过设定估计值进行计算，反复迭代提高精度，确定模型系数，拟合模型。本发明提供了一种电容传感器晶圆测量厚度标定算法，通过样本数据拟合出模型，进一步对于模型曲线进行三维图形绘制，与样本数据进行对比，进而确定该算法得出的算法模型可用且精度高，同时考虑了温度对电容传感器晶圆测厚系统的影响，使采用本算法的传感器具有更好的适应性。