本申请涉及一种晶圆管芯曝光场的排布方法、晶圆的制备方法及晶圆，具体方法如下，首先形成第一曝光排布区域和第二曝光排布区域，之后通过判断出任一个第二曝光排布区域在第一方向上的至少一个端部，与晶圆的边缘之间存在未重叠区域时，则确定出对应的第二曝光排布区域的目标移动量和目标移动方向，采用这样错位移动的方式以将形成于晶圆边缘处的未重叠区域进行覆盖，从而增大管芯曝光场与晶圆的重叠面积，提高单片晶圆上管芯的数量，充分利用晶圆有效面积，提高单片晶圆上管芯的产出率；另外，还通过保证第一管芯曝光场与移动后的第二管芯曝光场内的管芯阵列对齐排布，从而防止在切割晶圆使对管芯造成划损。