一种用于传送装置上的晶圆检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于传送装置上的晶圆检测装置，包括发射接收机构和反射机构，所述发射接收机构包括光电传感器、固定臂以及连接合页，所述光电传感器固定于所述固定臂的一端，所述固定臂的另一端通过连接合页固定于所述传送装置的支架上；所述反射机构包括固定框和反射镜，所述反射镜固定于所述固定框的中部，所述固定框一侧固定有与所述传送装置顶端固定连接的固定板，所述固定框的两端开设有定位槽，固定于所述传送装置侧面的定位导向件插设于所述定位槽内。采用上述结构的一种用于传送装置上的晶圆检测装置，便于安装和检修，可检测多种晶圆。
基本信息
专利标题 ：
一种用于传送装置上的晶圆检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122823860.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216246406U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
唐正隆王正辉吴星华
申请人 ：
合肥开悦半导体科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房研发楼4楼
代理机构 ：
北京圣州专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐晟逸
优先权 ：
CN202122823860.3
主分类号 ：
G01D5/26
IPC分类号 ：
G01D5/26 G01B11/00 G01V8/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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