一种扇出封装结构及其形成方法
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摘要

本发明涉及一种扇出封装结构及其形成方法,涉及半导体封装领域。通过在牺牲材料层上设置所述第一、第二、第三柔性互连图案层,进而设置第一牺牲材料层的第一穿孔、各柔性互连图案层的开孔以及所述半导体芯片的第一导电焊盘对应重叠设置,进而利用第一导电通孔实现多层柔性互连图案层与半导体芯片的第一导电焊盘的电连接,上述结构的设置有效提高相邻半导体芯片之间的电连接结构的稳固性,进一步的,通过设置所述开孔的孔径小于所述第一穿孔的孔径且所述第一导电焊盘的直径或边长大于所述第一穿孔的孔径,进一步确保在形成第一通孔的过程中,有效暴露各柔性互连图案层,进一步提高电连接的稳固性。

基本信息
专利标题 :
一种扇出封装结构及其形成方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114242653A
申请号 :
CN202210154249.2
公开(公告)日 :
2022-03-25
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
CN114242653B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
张琳王训朋邢加明
申请人 :
威海艾迪科电子科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省威海市经济技术开发区凤巢街12-6号一楼
代理机构 :
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 :
潘时伟
优先权 :
CN202210154249.2
主分类号 :
H01L21/768
IPC分类号 :
H01L21/768  H01L23/538  B82Y30/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21/70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2022-06-03 :
授权
2022-04-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/768
申请日 : 20220221
2022-03-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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